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複合分子ポンプ-33

分子ポンプ

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複合分子ポンプ 排気速度: 200~1600 L/s 日本

製品説明
概要
複合分子ポンプは、ターボ分子ポンプとドラッグポンプから構成されています。分子流を扱う際の高排気速度と高圧縮比を持つターボ分子ポンプと、高圧での高排気速度と高圧縮比を持つドラッグポンプの特性を兼ね備えており、分子ポンプの応用範囲が広がります。複合分子ポンプは非選択性であり、ポンプされたガスにメモリ効果を示しません。分子量の大きいガスに対する高圧縮比により、コールドトラップやオイルバッフルを必要とせずにクリーンな高真空と超高真空を実現できます。
特徴
● オイルフリークリーンバキューム
● 非常に低い背圧を実現し、高真空状態に到達します。 
● 排気速度が速いためガスが急速に除去され、真空システムの排気速度が加速されます。
● 内部に可動部品がほとんどないため、騒音や振動が少なくなり、メンテナンスコストが削減されます。
代表的なアプリケーション
電子工学、冶金学、化学工業、科学研究、真空技術

サポート製品

分子泵.png

製品パラメータ

モデル TP-200 TP-600 TP-1200 TP-1600
ポンピング速度(L/S) 200 600 1200 1600
ポンプ本体ベーキング温度() < 80 < 100 < 120 < 120
オイル充填量(ml) / 100 100 100
ポンプ重量 (Kg) 11 XNUMX 30 XNUMX 34 XNUMX 39 XNUMX
設置方向 任意の角度 垂直±5°
水冷冷却水流量(L/分) / 1
冷却水温度() / ≤25
周囲温度 () / ≤28 /
冷却方法 空冷 水冷
バックアップポンプ(L/S)の使用をお勧めします <2 4〜8 8〜15 15
ダウンタイム(分) <6 <6 <7 <8.5
開始時間(分) <6 <4 <5 <6
振動値(μm) ≤0.1
ベアリングを使用する 輸入セラミックベアリング
定格速度(rpm) 30000 24000 24000 24000
前段フランジ KF25 KF40 KF40 KF50
高真空フランジ KF40
全体寸法(mm)の 208 * 152 * 266 265 * 236 * 457 294 * 267 * 467 327 * 296 * 467
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